наглядно показывает, что электрические методы .функционального контроля не всегда/отвечают современным требованиям отыскания неисправностей даже в автоматизированных системах. Кроме того, эти: методы имеют существенные недостатки: не позволяют обнаружить скрытых дефектов; имеют недостаточную достоверность измерения из-за вносимых в процессе1 контроля искажений; требуют большого количества измерительных приборов.
Одним из перспективных направлений повышения качества и надежности изделий микроэлектроники является создание мётодов и средств неразрушающего контроля. Под неразрушающим контролем понимают проведение любого измерения; которое позволит оценить параметр или показатель качества изделия без ухудшения присущих ему в момент контроля «• свойств. .
Наибольшее распространение получили методы, основанные на исследовании структуры контролируемого вещества с помощью электромагнитных .колебаний с различными длинами волн (оптические^, рентгеновские, электрические и электрофизические).
В оптическом диапазоне видимую часть спектра используют для, визуального контроля, а инфракрасную—в ИК-интро-скопии. Методы визуального контроля применяют для определения; поверхностных повреждений, правильности монтажа, расположения элементов и др. Контроль осуществляют с помощью различных увеличительных линз и микроскопов, а также лазерных профилометров, средств голографии и др. Недостатком этого метода является невозможность выявления скрытых, дефектов,
• Электрические И электрофизические методыконтроля основаны на использовании взаимодействия контролируемого вещества с электромагнитными волнами радиодиапазона (измерение шумовых характеристик, томография, фото-эде* микроволновое зондирование и др.).
Рентгеновские методы контроля основаны на изменении контрастности изображения (из-за различных коэффициентов ослабления) основного материала и дефектных структур при прохождении через них рентгеновских лучей. Эти методы используют для обнаружения скрытых дефектов изделия (механические повреждения, инородные включения, аномалии и др.).
В основу высокочувствительной стереотелевизионной рентгеновской, системы диагностики качества и прогнозирования отказов контролируемых изделий положен принцип действия объемного телевидения, При изменении угла конвергенции фокусного расстояния и коэффициента проекционного увеличения система позволяет получить оптимальный режим контроля в трех координатах (х, у, г) в зависимости от конструктивных параметров контролируемых объектов.