логических вентилей. Их коммутация в конкретную схему осуществляется персонально для каждого потребителя. Матрица содержит несколько комплементарных транзисторов, коммутируемых для получения нужной функции вентиля. Это позволяет снижать стоимость производства СБИС и создавать многофункциональные схемы, более дешевые по сравнению со специализированными. Таким образом, решается проблема минимизации числа выводов из корпуса кристалла: схемные межсоединения осуществляются внутри корпуса, а к имеющимся выводам подсоединяются только необходимые выводы логичес-
Рис. 22. Схема размещения микро-ЭВМ на одном кристалле СБИС: ГС—генератор синхроимпульсов,
СУ—схемы управления, С К—системный контроллер, Т—; таймер, Д—дешифраторы, ЗУ—запоминающее устройство,
УУ—устройство управления, У О—устройство обработки (данных, адреса и команд), АДУ—арифметико-логическое устройство; Д1—Д16, СО—CIS, ВО—BIS,
Al—А16—микросхемы
кой схемы. Схема размещения устройств микроЭВМ на кристалле СБИС приведена на рис. 22.
В последние годы созданы полупроводниковые БИС, имеющие на кристалле кремния размером 1,45 х 1,6 мм до 1000 элементов (транзисторов, диодов, резисторов и др.) и более и выполняющие функции 300 отдельных ИМС и более. Разработан микропроцессор (микроЭВМ), имеющий свыше 107 элементов на кристалле. Используя несколько навесных структур БИС на диэлектрической подложке с пассивной пленочной частью микросхем, можно получить микросборки (БГИС), которые просты в проектировании и изготовлении.
Дальнейшее уменьшение размеров элементов микросхемы и резкое повышение ее степени интеграции привели к созданию трехмерной (многослойной) микросхемы. Особенностью такой микросхемы по сравнению с обычной (планарное расположение элементов) является наличие двух активных слоев и более, разделенных диэлектриком. Элементы соседних слоев соединяются электрически (функционально).
Повышение интеграции микросхемы достигается автоматизацией и введением в технологический процесс математического моделирования с машинным проектированием топологии и применением новых методов формирования элементов (ионное легирование и др.). Основной цикл проектирования БИС состоит из двух этапов: архитектурно-схематического и конструкторско-технологического. Архитектурно-схематический этап включает разработку архитектуры и структуры ИМС, функциональных принципиальных электрических схем, математическое